Method and apparatus for supporting substrate



<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and an apparatus for supporting a substrate, which in order to control the vertical direction of a lift pin, restrict the angle of the lift pin and/or prevent the lift pin from being unconsciously combined with a susceptor as the susceptor is raised and prevent the generation of an uneven support caused by a substrate. <P>SOLUTION: An apparatus comprises a vertically aligned lift pin, having a bearing surface engaged with a friction plate for maintaining the vertical direction of the lift pin and/or a magnetic field. In some embodiments, the magnetic field and/or weight can be possibly or further used. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
【課題】 リフトピンの垂直の向きを制御するために、リフトピンの角度を制限し、及び/又はサセプタが上がるにつれてリフトピンがサセプタに無意識に結合するのを防止し且つ基板の結果として生じる平坦でない支持体を防止する、基板支持方法及び装置の提供。 【解決手段】 基板を持ち上げる間、リフトピンの垂直の向きを維持する摩擦プレート及び/又は磁界と係合する軸受面を有する垂直に整列したリフトピンを含んでいる。ある実施態様においては、磁界及び/又は重量を、或いは又は更に、用いることができる。 【選択図】 図2




Download Full PDF Version (Non-Commercial Use)

Patent Citations (0)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle

NO-Patent Citations (0)


Cited By (5)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
    JP-2008004575-AJanuary 10, 2008Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd, 東京応化工業株式会社Supporting pin
    JP-2010073753-AApril 02, 2010Tokyo Electron Ltd, 東京エレクトロン株式会社基板載置台およびそれを用いた基板処理装置
    JP-2011525717-ASeptember 22, 2011アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated大型足部リフトピン
    KR-101146149-B1May 16, 2012엘아이지에이디피 주식회사리프트 핀 모듈
    KR-101146150-B1May 16, 2012엘아이지에이디피 주식회사기판처리장치