Sealant dispenser and its control method

シーリング剤ディスペンサおよびその制御方法

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sealant dispenser capable of applying a sealant with high accuracy and its control method. <P>SOLUTION: The sealant dispenser comprise a stage on which a substrate is placed, a nozzle for discharging the sealant while moving relatively to the substrate, a syringe mounted on the nozzle for storing the sealant and displacement sensors installed on both sides at the lower part of the syringe for measuring a vertical distance between the main surface of the substrate and the discharge port of the nozzle. The nozzle and the syringe are disposed substantially concentrically with each other so that the control response for controlling the discharge of a paste faster is increased to thereby improve the accuracy of applying paste at a disclosure point of a paste pattern and its end point. Further, effect of applying the sealant with higher accuracy is obtained by minimizing the distance between the nozzle and a measuring point by the displacement sensor. A manufacturing method for the same is also disclosed. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
【課題】 シーリング剤が精度よく塗布できるシーリング剤ディスペンサおよびその制御方法を提供する。 【解決手段】 本発明に係るシーリング剤ディスペンサおよびその製造方法は、基板が搭載されるステージと、前記基板と相対移動しながらシーリング剤を吐き出すノズルと、前記シーリング剤が貯蔵され、前記ノズルに取り付けられるシリンジと、前記シリンジ下部の両側に設けられ、前記基板の主面と前記ノズルの吐出口との間の垂直距離を測定する変位センサーとを含んでなる。 本発明では、ノズルとシリンジとが実質的に同じ中心軸を有することにより、ペーストの吐出を制御する制御応答が速くなり、これによってペーストパターンの開示点及び終了点などでペースト塗布の精密度を向上させる。また、ノズルと変位センサーによる測定点との間の距離を最小化することにより、シーリング剤がより精度よく塗布できるという効果がある。 【選択図】 図2

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